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ウエハーマウンター

【ウエハー薄板化および薄基板工程流動をサポート】

本装置はLD、LED、MMICなどの薄板化工程に使用されるウエハーを支持基板に貼り合わせ、カセットに収納します。

アニール後の薄板ウエハーの支持基板によるサポートにも対応いたします。

【対応デバイス】

素材:GaAs、InP、サファイア、Si / ウエハサイズ:2.5,3,4,6,8インチ

特長

  • 独自の真空貼付方式。
  • WAXメーカーとのアライアンスによるプロセス提案が可能。
  • 塗布技術のノウハウにより凹凸の大きなパターンにも対応。

仕様

型式DMT-150DMT-200
バージョン Type0 Type1 Type0 Type1
対応サイズ  φ4~6″ φ6~8″
構成 WAX塗布部 WAX塗布部 WAX塗布部 WAX塗布部
WAXベーク部 WAXベーク部 WAXベーク部 WAXベーク部
反転貼付部 反転貼付部 反転貼付部 反転貼付部
ウェハー ウェハー ウェハー ウェハー
スタンプ部 スタンプ部 スタンプ部 スタンプ部
  搬送部   搬送部
  ローダー   ローダー
  アンローダー   アンローダー
オプション クリーンユニット

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