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マニュアルウエハーマウンター

【薄ウエハーの薄板化および工程流動をサポートする待望のウエハーマウンター】

本装置は、WAXが塗布されたウエハーを真空カップ内で支持基板へ貼り付けを行います。

【対応デバイス】

素材:GaAs、InP、サファイア、Si

ウエハサイズ:2.5,3,4,6,8インチ

特長

  • 真空カップ内でウエハーと支持基板の貼付を行うことにより気泡の混入を回避します。
  • 貼付後に「エアスタンプ」処理をすることによりTTVを矯正します。
  • 試作から量産まで各種デバイスウエハーの薄板化プロセスをサポートします。

仕様

型式DMT-150
バージョン Type1
対応サイズ φ4~8″
構成 反転・真空貼付部
加熱・スタンプ部

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