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ウエハーデマウンター

本装置はデバイス形成後、薄板化されたウエハーを支持基板から剥離する装置です。 ウエハーを支持基板から剥離、洗浄し次工程で使用するダイシングテープへの貼り付けまでを一貫処理します。

【対応デバイス】

・素材:GaAs、InP、サファイア、Si

・ウエハサイズ:2.5,3,4,6,8,12 インチ

特長

  • 独自の制御によるスライド機構。
  • 50μm厚以下の薄板ウエーハもダメージなく処理。
  • 困難だったウエハー剥離後の洗浄を自動化。

仕様

型式DNLO-120DNLO-220
バージョン Type0 Type1 Type0 Type1
対応サイズ  φ4~6″ φ6~8″
構成 剥離部 剥離部 剥離部 剥離部
洗浄部1 洗浄部1 洗浄部1 洗浄部1
洗浄部2 洗浄部2 洗浄部2 洗浄部2
ウエハー受渡部 ウエハー受渡部 ウエハー受渡部 ウエハー受渡部
  搬送部   搬送部
  ローダー   ローダー
  アンローダー   アンローダー
オプション 簡易防爆仕様
クリーンユニット

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