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小径ウエハー両面スクラブ洗浄機

【ウエハー薄板化および薄基板工程流動をサポート】

小径ウェハーの研磨後洗浄等を目的とした装置です。 ウェハーをコンベアにより両面スクラブ機構部に搬送し、ウエハーを回転させながら両面ブラシ洗浄を行います。 純水リンスを経てアンローダーにて水没収納されます。

【対応デバイス】

素材:サファイア,Si,LT,LNx / ウエハサイズ:2.5,3,4,6,8インチ

特長

  • 各種小径ウエハーサイズに対応可能。
  • シンプルな槽構成。
  • 研磨材除去 界面活性剤/高圧洗浄(オプション)。
  • エッジドライブローラーによる低スクラッチ性実現。
  • 小径ワーク タクト 30sec/枚。
    ※両面スクラブ洗浄時間 15sec/枚

仕様

型式DSC-100CVDSC-200CV
対応サイズ φ(2)3、4インチ φ(4)6、8インチ
構成 ローダー(WET) ローダー(WET)
プレ洗浄部  プレ洗浄部
両面スクラブ洗浄部 両面スクラブ洗浄部
界面活性剤供給 界面活性剤供給
CV搬送部 CV搬送部
アンローダー(WET) エアナイフ乾燥部(オプション)
  アンローダー(WET/DRY)

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