製品のご案内

スピン有機洗浄装置

低環境負荷:有機洗浄液「DUMS」を使用したスピン有機洗浄装置です。

※実機外観は異なることがあります。

【対応デバイス】

DJLO-220D8:φ4~8インチ対応

特長

  • リサイクル可能な低環境負荷:有機洗浄液「DUMS」を使用。
  • 温調:60℃±3℃、薬液循環を採用し、高スループットと低ランニングコストを実現。
  • 有機洗浄/レジスト剥離/リフトオフと多用途仕様が可能です。

仕様

型式DJLO-220D6DJLO-220D8
対応サイズ φ3~6インチ φ4~8インチ
構成 有機洗浄部 2スピン有機洗浄部 2スピン
リンス・乾燥部 2スピン リンス・乾燥部 2スピン
搬送部搬送部
高圧JET&循環/温調部高圧JET&循環/温調部
ローダー/アンローダーローダー/アンローダー
オプション 防火安全増仕様
クリーンユニット

※通用「リンス」は『純水』です。

こちらの製品もあわせてチェック

各製品のカタログ請求やデモ機のお申し込み、
お問い合わせはこちらから。

お問い合わせ