製品のご案内

ブレーキング装置 フルオート機

【ダイトロンブレーキング装置、フルオートタイプ】

本装置はスクライブが完了したLD、LED用半導体基板やバー状チップをあらかじめ登録された条件に基づきブレードで自動ブレーキング(クリービング)します。

【対応デバイス】素材:GaAs、InP、サファイア、Si

ウエハサイズ/型式:3・4インチ/DBM-403R

ウエハサイズ/型式:6インチ/DBM-603R

※ご要望により、8・12インチ対応いたします。

特長

パラメータを設定するだけで、カセットからステージへのリングをセット、位置合わせ、ブレークまでを自動で行います。

こちらの製品もあわせてチェック

各製品のカタログ請求やデモ機のお申し込み、
お問い合わせはこちらから。

お問い合わせ