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卓上型スクライバー(DPS-106)

【卓上コンパクトサイズのマニュアルスクライブ装置】

本装置はダイヤモンドカッターを用いて所定の加圧力によりLD、LED用の半導体ウェーハを直線スクライブするものです。 スクライブラインの位置合わせ、並びにアライメントは単眼鏡にて作業者がXステージ動作にて合わせるマニュアル機です。

【対応デバイス】

素材:GaAs、InP、サファイア、Si

素材:GaAs、InP、サファイア、Si ウエハサイズ:2.5,3,4インチ 角基板

特徴

  • 直線スクライブ専用マニュアル機
  • 卓上コンパクトタイプ
  • 当社標準カッターヘッドが使用可能
  • 海外対応可能

装置構成

  • X軸ステージ並びθ軸ステージ部
  • Y軸並びZ軸部
  • アライメント用単眼鏡等部
  • カッターヘッド部
  • 制御・操作部
  • 本体部

スクライブ動作


 

 

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