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洗浄機(セミオート)

本装置はウェーハを純水のみで洗浄する装置です。

【対象装置型式】

・WJS-150B

・WJS-200B

・WPM-300B

特長

  • ウェーハ単体、ウェーハリング(ハーフカット、フルカット、エクスバンド)などなど、あらゆる工程可能
  • 専用ノズル追加により、ブラシ洗浄時に界面活性剤(中性/弱アルカリ)を塗布可能
  • オプションでブラシ押しつけ圧力調整機構を取付可能

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