製品のご案内

ウェーハ形状測定器(端面形状測定機)セミオート/マニュアル機

ウェーハの外周断面形状、ノッチ形状を高精度に測定する装置です。

【対象装置型式】

・WPM-150M

・WPM-150S

・WPM-200MN

特長


  • 測定項目:断面形状、マニュアルモード、ノッチ形状(オプション)、直径・B直径(オプション)
  • 測定精度の向上:光学系の再設計(CCDカメラ画素数向上、LED照明を採用)
  • 操作性の向上:ツール・バーを追加
  • 相関ツール:校正用として、ゲイン、オフセット値を測定項目毎、品種データ毎に持つことが可能
  • 判定機能:OK/NG判定が行えます
    測定結果の保存:JPG形式の画像ファイル、CSV形式のレコードファイル
  • 測定結果の印刷:画像データおよび測定結果の印刷が可能
  • Windows PCで制御しているため、社内ネットワークへの接続が簡単に行えます。

 

各製品のカタログ請求やデモ機のお申し込み、
お問い合わせはこちらから。

お問い合わせ