ブレーキング装置 フルオート機
ダイトロンブレーキング装置、フルオートタイプ
本装置はスクライブが完了したLD、LED用半導体基板やバー状チップをあらかじめ登録された条件に基づきブレードで自動ブレーキング（クリービング）します。
対応デバイス
素材：GaAs、InP、サファイア、Si
ウエハサイズ／型式：3・4インチ／DBM-403R
ウエハサイズ／型式：6インチ／DBM-603R
ご要望により、8・12インチ対応いたします。
特長
パラメータの設定のみ設定いただくと、トレーからステージへのセット、位置合わせ、ブレークまでを自動で行います。
各製品のカタログ請求やデモ機のお申し込み、
お問い合わせはこちらから。
