スピン有機洗浄装置
特長
- リサイクル可能な低環境負荷：有機洗浄液「DUMS」を使用。
- 温調：60℃±3℃、薬液循環を採用し、高スループットと低ランニングコストを実現。
- 有機洗浄／レジスト剥離／リフトオフと多用途仕様が可能です。
仕様
| 型式 | DJLO-220D6 | DJLO-220D8 |
|---|---|---|
| 対応サイズ | φ3～6インチ | φ4～8インチ |
| 構成 | 有機洗浄部 2スピン | |
| リンス・乾燥部 2スピン | ||
| 搬送部 |
||
| 高圧JET＆循環／温調部 | ||
| ローダー／アンローダー | ||
| オプション | 防火安全増仕様 | |
| クリーンユニット | ||
※通用「リンス」は『純水』です。
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